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箱变平台钢格板是箱式变电站平台的关键构件。它一般由承载扁钢和横杆正交组合,通过焊接或压锁固定,承载扁钢选用高强度钢材,横杆常用扭绞方钢、圆钢或扁钢 。这种钢格板承载能力强,能承受设备与人员荷载;经热镀锌处理,防腐性能出色;网格设计使其通风排水佳,还可做防滑处理。安装维护也很简便,广泛应用于各类箱式变电站平台。
晶圆处理能力 支持 300mm 与 200mm 晶圆,通过 FOUP 适配器快速切换尺寸。 处理能力:300 片 / 小时(Pro Z 型号),适配 EUV 工艺;初代型号为 150 片 / 小时。 兼容 4\"~12\" 晶圆的颗粒去除、助焊剂清洗及光阻残留清洗。 颗粒控制与清洗技术 颗粒控制:每片晶圆颗粒数≤1 个(≥0.06μm),满足 EUV 工艺严苛要求。 清洗技术: 双流体喷雾清洗:雾化喷雾技术实现无损伤清洗,有效去除颗粒并防止图案塌陷。 背面及边缘清洗:支持晶圆背面和边缘精密清洗,适应高深宽比结
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