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微纳制造的关键 ——MEMS 掩膜版 在微纳制造领域,MEMS(微机电系统)技术正以惊人的速度发展,为众多行业带来了前所未有的变革。从智能手机中的加速度计、陀螺仪,到医疗领域的微型传感器、药物输送系统,MEMS 器件凭借其体积小、功耗低、集成度高和性能优良等特点,逐渐成为现代科技的核心驱动力之一。而在 MEMS 器件制造过程中,掩膜版扮演着至关重要的角色,堪称微纳制造的 “幕后英雄”。 MEMS 掩膜版的独特地位 MEMS 制造致力于将机械结构与电子功能巧妙集成,通过微纳加工技术实现可动部件的精确成型。与
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