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水泥厂料棚用高压喷雾降尘系统清新空气,远离降尘误区。水泥厂料棚安装高压喷雾降尘系统,可短时间内形成大量水雾从棚顶斜向下喷出,吸附沉降粉尘,效果好、成本低、智能环保。#雾森系统#高压喷雾降尘系统#料棚喷雾降尘系统#水泥厂喷雾除尘系统#喷雾抑尘系统
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晶圆处理能力 支持 300mm 与 200mm 晶圆,通过 FOUP 适配器快速切换尺寸。 处理能力:300 片 / 小时(Pro Z 型号),适配 EUV 工艺;初代型号为 150 片 / 小时。 兼容 4\"~12\" 晶圆的颗粒去除、助焊剂清洗及光阻残留清洗。 颗粒控制与清洗技术 颗粒控制:每片晶圆颗粒数≤1 个(≥0.06μm),满足 EUV 工艺严苛要求。 清洗技术: 双流体喷雾清洗:雾化喷雾技术实现无损伤清洗,有效去除颗粒并防止图案塌陷。 背面及边缘清洗:支持晶圆背面和边缘精密清洗,适应高深宽比结
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