投石机的原理,就像跷跷板一样
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分辨率与写头配置 标准模式:最小特征尺寸为 0.6 μm(如 4mm 写头配置),适用于微米级结构的高精度曝光。 不同写头差异: 20mm 写头:分辨率约 5 μm,适用于大尺寸、低精度需求(如快速原型开发)。 10mm 写头:分辨率约 2-4 μm,平衡速度与精度。 4mm 写头:最高分辨率 1 μm,但速度较慢,适合小面积精细加工。 灰度光刻:支持灰度曝光,可生成复杂 2.5D 微结构(如微透镜、衍射光学元件),灰度等级通常为 128 或 255 级。 光源与激光参数 波长:主流配置为 405 nm
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