HEIDELBERG DWL 66光刻机
分辨率与写头配置
标准模式：最小特征尺寸为 0.6 μm（如 4mm 写头配置），适用于微米级结构的高精度曝光。
不同写头差异：
20mm 写头：分辨率约 5 μm，适用于大尺寸、低精度需求（如快速原型开发）。
10mm 写头：分辨率约 2-4 μm，平衡速度与精度。
4mm 写头：最高分辨率 1 μm，但速度较慢，适合小面积精细加工。
灰度光刻：支持灰度曝光，可生成复杂 2.5D 微结构（如微透镜、衍射光学元件），灰度等级通常为 128 或 255 级。
光源与激光参数
波长：主流配置为 405 nm
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